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傳感器的幾種常見分類

振動傳感器 2020-06-01 295 0

  按照其用途,傳感器可分類為:

  壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液面傳感器、能耗傳感器、速度傳感器、熱敏傳感器、加速度傳感器、射線輻射傳感器、振動傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。

  以其輸出信號為標準可將傳感器分為:

  模擬傳感器--將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。

  數字傳感器--將被測量的非電學量轉換成數字輸出信號(包括直接和間接轉換)。

  膺數字傳感器--將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。

  開關傳感器--當一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信號。

  在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發可將傳感器分成下列幾類:

  (1)按照其所用材料的類別分

  金屬、聚合物、陶瓷、混合物

  (2)按材料的物理性質分

  導體、絕緣體、半導體、磁性材料

  (3)按材料的晶體結構分

  單晶、多晶、非晶材料

  (4)按照其制造工藝分

  集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器、陶瓷傳感器

      集成傳感器是用標準的生產硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

      薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。

      厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。

      陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產。

      備注:完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

  每種工藝技術都有自已的優點和不足。由于研究、開發和生產所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

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